一、項目編号： ZXCG012023042401
二、項目名稱：納米孔團隊購買光刻機項目
三、采購類型：貨物
四、成交信息
供應商名稱：蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
成交金額(萬)：20萬元
成交标的信息：
貨物 名稱 |
品牌、規格型号 （或服務要求） |
數量/ 單位 |
單價 （元） |
總價 (元) |
| 光刻機 |
型号規格：Cchip-0019； 配置：暴光頭系統、對準工作台、雙視場對準顯微鏡、電控系統、氣動系統； 技術參數：曝光面積110mmx110mm、曝光波長365nm、分辨力0.8μm、對準精度±0.5μm、掩模尺寸3英寸、4英寸、5英寸 樣片尺寸2英寸、3 英寸、4英寸、厚度 0.1mm-5mm、照明不均勻性2%、掩模相對于樣片運動行程X:±5 mm Y:±5 mm θ:±6°、曝光光源紫外LED，40mW、曝光量設定（倒計時方式 0.1-999.9 任意設定)、最大膠厚350、光源平行性≤1.8°、雙視場顯微鏡0.5-4.5X |
1/台 |
200000 |
200000 |
五、評審專家（市場采購小組成員）：周騰，史留勇，陳緻水，袁成宇，王娟
聯系人：周騰，手機号：18689637366
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緻遠班